● 采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，保證每軸運(yùn)動(dòng)的直線度，無偏擺，俯仰
● 測微頭驅(qū)動(dòng)，定量讀數(shù)，實(shí)現(xiàn)高調(diào)整精度
XY水平位移臺(tái)（XY Stege）
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