超高真空低溫掃描隧道顯微鏡（LT-STM）是在超高真空(優于1*10-9 mbar)、低溫（LHe或者LN2）下,以單個原子或分子為的微小探針掃描樣品表面，依據量子力學的電子隧道效應，記錄針尖到樣品之前的pA級的微弱隧穿電流或者自旋分辨電流，表征材料表面亞原子級的結構、電子態、自旋態、電、磁輸運及表面原子操縱。特別地，對本設備分子束外延（MBE）系統在超高真空中制備出來的高品質樣品，進行原位表征，以觀測新的物理現象、揭示新的物理機制。